國產(chǎn)掃描電鏡是善時(shí)儀器經(jīng)過多年的團(tuán)隊(duì)聯(lián)合研發(fā)出來的國產(chǎn)掃描電鏡，具有體積小、操作簡單、性價(jià)比高、性能優(yōu)異等特點(diǎn)，掃描電鏡放大倍率30~150,000 X，分辨率為5nm。國產(chǎn)掃描電鏡由鏡筒、電子信號(hào)的收集和處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成，具有放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點(diǎn)。下面介紹國產(chǎn)掃描電鏡：

(一) 樣品制作,安裝(樣品高度調(diào)整)

1.在完全釋放真空的狀態(tài)下開啟艙門。

2.把固定在控制軸上的支架按照逆時(shí)針方面轉(zhuǎn)動(dòng)。 

3.4.擰下固定在支架上的樣品臺(tái),安裝準(zhǔn)備好的樣品。 

5.固定樣品的高度,通過 W/D JIG調(diào)整高度。（W/D指工作距離）

- 旋轉(zhuǎn)裝在支架上的兩個(gè)螺母上下部分,樣品的上緣高度和夾具限位臂下面一致后,讓樣品高度不變動(dòng)的情況下互相往反方向旋緊固定螺母。

※ 樣品比較高的情況下可以去掉一個(gè)螺母,調(diào)整高度。 

6.把載物臺(tái)固定在支架上,沿順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)到位固定。 

7.緩慢關(guān)上艙門,同時(shí)按下真空按鈕抽真空,待艙門被吸住在松手。

 

(二)設(shè)備準(zhǔn)備、開始, 結(jié)束        

1.按下電源開關(guān)(POWER)。

2.打開艙門,替換樣品臺(tái)?！緟⒄帐謨裕ㄒ唬?/span>

3.關(guān)閉艙門。

4.按住真空按鈕EXCHANGE（三秒）。(抽真空時(shí)間2.5分鐘)

  - 確認(rèn)是否在抽真空,試著開啟艙門。 

  - 真空完成后,信號(hào)音(2聲) 和 LED 信號(hào)燈長亮不閃爍。

  ※信號(hào)音持續(xù)呼叫的情況,需要再推一次艙門，再按一次

    Exchange 鍵。

5.在電腦桌面選擇 SENSE-SEM 圖標(biāo),雙擊開始軟件，按照操作順序獲取圖像。

6.圖像拍攝之后點(diǎn)擊軟件上的“stop”按鈕,關(guān)閉軟件。

7.長按EXCHANGE卸掉真空。(40秒內(nèi)完成)

8.關(guān)掉電源開關(guān)。

 

(三) 國產(chǎn)掃描電鏡SEM S/W 啟動(dòng),參數(shù)設(shè)置

1.雙擊桌面的SENSE-SEM圖標(biāo),等待軟件運(yùn)行。

2.在軟件左上方選擇合適的加速電壓。（5/10/15/20/30kV）

  -應(yīng)根據(jù)樣品的性質(zhì)、圖像要求和觀察倍率等來選擇加速電壓。

  -通常加速電壓越高，可提升SEM的分辨率，不同的被觀察物可能需要改變加速電壓,以達(dá)到好效果。

3.選擇本次觀察分析使用的探測器類型SE/BSE。（二次電子/背散射電子）

4.選擇High Vacuum模式。（High Vacuum/Low Vacuum 為高真空/低真空）

5.點(diǎn)擊“開始”( Start) 鍵，電子槍發(fā)射電子束，形成圖像。 

注：1）.SEM 電源關(guān)閉或者 SEM-PC Cable 連接不良，軟件不可運(yùn)行。 

2）.首次開始的時(shí)候以高真空的模式開始，使用過程中可以切換為低真空。

(Only BSE Mode)

3）.確認(rèn)圖像顯示窗口左上角的電子束電流值是否有上升到 (100uA 以上)。

-電流值40~60uA時(shí)鎢燈絲需更換 (不出圖像) 

 

(四) 開啟實(shí)時(shí)圖像, 移動(dòng)觀察區(qū)域

1.單擊軟件上(320x240）功能，高速實(shí)時(shí)圖像掃描開始。

調(diào)整聚焦時(shí)使用此模式

- 圖像比較暗的情況, 需要調(diào)整“光斑尺寸(電子量)”的值 

( 參數(shù)越低就越亮/ 5~30% - SE 圖像)

- 圖形不穩(wěn)定或者比較亮白的情況, 同上參數(shù)向右調(diào)整 

(20~70% - BSE 圖像)

※完全看不到圖像

1).確認(rèn)燈絲值(圖像顯示窗口左上角的電子束電流值)

2.找樣品觀測點(diǎn)時(shí)用（640x480）全屏模式，視野更廣闊。

 

(五)國產(chǎn)掃描電鏡設(shè)備點(diǎn)檢和故障處理

（1）Vacuum system的點(diǎn)檢

1）.O型圈點(diǎn)檢及更換

由于經(jīng)常更換樣品或更換燈絲的緣故，真空艙門部位的O型真空密封圈或電子槍的O型真空密封圈磨損的頻率較高。因?yàn)榛覊m附著，污染等原因會(huì)造成真空泄露的現(xiàn)象。需要定期進(jìn)行清潔管理。

將O型真空密封圈從卡槽中取出。請勿使用金屬工具進(jìn)行操作。若在卡槽或密封圈的表面造成瑕疵或變形會(huì)導(dǎo)致無法完全抽真空。

使用蘸有少量乙醇的無紡布擦拭取出的密封圈，取出上面的灰塵和污染物。擦拭好的密封圈請不要直接接觸皮膚或衣服等其他污染源避免造成二次污染。

仔細(xì)檢查密封圈是否有灰塵或瑕疵。若發(fā)現(xiàn)有瑕疵或變形則需要更換密封圈。

蘸取少量真空密封油（Vacuum grease）均勻涂布在密封圈表面。

使用乙醇將固定密封圈的卡槽清潔干凈。

將均勻涂布了真空密封油的密封圈按原位置放入卡槽。

2）.Rotary pump oil點(diǎn)檢及更換

真空泵油若量不足或發(fā)生變色、變質(zhì)等現(xiàn)象會(huì)影響真空泵的性能。因此需要定期對真空泵油進(jìn)行檢查和更換。

補(bǔ)充

真空泵油的補(bǔ)充是指在真空泵油沒有變質(zhì)或污染的情況下，油量低于標(biāo)準(zhǔn)位置時(shí)而進(jìn)行泵油補(bǔ)充。

泵油補(bǔ)充時(shí)請參照真空泵油標(biāo)尺從注油口處倒入真空泵油。

更換

通過真空泵油標(biāo)尺處可以看到真空泵油發(fā)生變色時(shí)或者每隔6個(gè)月至1年需定期更換真空泵油。

拆下和設(shè)備主機(jī)連接著的真空泵管（Air hose）和oil mist。

拆下排出口處螺絲后將泵油排出。

廢油完全排出后重新裝上螺絲，從注油口處注入新油。適當(dāng)?shù)淖⑷肓繛檎婵毡糜蜆?biāo)尺的下限和上限的2/3處。

重新將設(shè)備主機(jī)和真空泵管（Air hose）及oil mist連接。

（2）故障處理

1）故障維修

在使用中若設(shè)備發(fā)生異常，請按照本章中的提示進(jìn)行操作。若本章中未提及的故障發(fā)生時(shí)，請停止運(yùn)行設(shè)備并聯(lián)系我司。

?故障維修檢查系統(tǒng)只能由經(jīng)過培訓(xùn)并了解設(shè)備的人員進(jìn)行操作。

?故障維修檢查期間若沒有使用正確的保護(hù)措施，有可能引起傷亡或嚴(yán)重的受傷，因此在進(jìn)行故障維修時(shí)必須使用保護(hù)設(shè)施。

?故障維修前請關(guān)閉電源。

?進(jìn)行故障維修前請?jiān)俅未_認(rèn)注意事項(xiàng)。若在故障維修時(shí)無法判斷該如何實(shí)施時(shí)請立即停止作業(yè)，聯(lián)系我司。

2）設(shè)備故障的情況

2.1、系統(tǒng)電源故障

現(xiàn)象：

按下“SS-150（60）”正面的電源按鍵后，顯示燈不亮，設(shè)備電源不供電，設(shè)備不能啟動(dòng)。

原因：

1）供給電源的220V插頭不能供電

2）“SS-150（60）”內(nèi)部超負(fù)荷而引起E.L.B（漏電保護(hù)器）將電源轉(zhuǎn)至關(guān)閉狀態(tài)

解決方法：

檢查供給設(shè)備電源的220V插頭是否從供電盒脫落

檢查“SS-150（60）”背面的E.L.B（漏電保護(hù)器）的開關(guān)是否處于打開狀態(tài)

          若確認(rèn)設(shè)備背面的開關(guān)之前是打開狀態(tài)，之后并不是人為將開關(guān)關(guān)閉時(shí)，此時(shí)不要將開關(guān)打開，請聯(lián)系售后工程師

注意：若確定電源插頭正確插在供電盒上，并且E.L.B（漏電保護(hù)器）的開關(guān)在打開狀態(tài)時(shí)，請?zhí)貏e注意此時(shí)即使不打開設(shè)備正面的開關(guān)按鍵SMPS和其他設(shè)備部分也可能帶電

2.2、PC啟動(dòng)故障

現(xiàn)象：

計(jì)算機(jī)無法被正常打開或畫面中什么也不出現(xiàn)

計(jì)算機(jī)啟動(dòng)中途黑屏，停止啟動(dòng)

軟件不能正常執(zhí)行

原因：

計(jì)算機(jī)電源不供電

計(jì)算機(jī)沒有正常關(guān)機(jī)導(dǎo)致軟件出現(xiàn)問題

計(jì)算機(jī)和“SS-150（60）”之間的連接線沒有正常連接

解決方法：

檢查計(jì)算機(jī)的供電電源插頭是否正常插入

檢查計(jì)算機(jī)的電池是否耗盡

檢查計(jì)算機(jī)和“SS-150（60）”之間連接線的連接狀態(tài)

檢查“SS-150（60）”設(shè)備是否被打開

檢查是否有必要的程序在執(zhí)行

檢查計(jì)算機(jī)是否中毒

2.3、通訊故障

現(xiàn)象

跳出“無法找到Active Scan設(shè)施”的錯(cuò)誤提示

原因

設(shè)備和計(jì)算機(jī)的USB線連接不良

解決方法

重新連接USB線

2.4、真空故障

現(xiàn)象

抽真空過程中從設(shè)備內(nèi)部主板中傳出“BB”的連續(xù)提示音

原因

機(jī)械真空泵和“SS-150（60）”之間的真空泵管沒有正確連接

機(jī)械真空泵故障

分子泵故障

樣品艙門沒有完全關(guān)閉

解決方法

檢查機(jī)械真空泵和“SS-150（60）”之間真空泵的連接狀態(tài)

抽真空時(shí)關(guān)緊樣品艙門

更換機(jī)械真空泵內(nèi)的真空泵油

 

        以上介紹了國產(chǎn)掃描電鏡的產(chǎn)品介紹，作為國內(nèi)一個(gè)自主研發(fā)的儀器公司，我們投入了大部分精力在做國產(chǎn)掃描電子顯微鏡的項(xiàng)目，我們的目的很明確，就是要盡可能做到在同等技術(shù)級(jí)別的平臺(tái)下不落后國際上的前輩產(chǎn)品。我們還會(huì)像能譜儀（ED-XRF）一樣，一步一個(gè)腳印的為國內(nèi)廠家、大學(xué)和研發(fā)機(jī)構(gòu)等做好每一臺(tái)產(chǎn)品。希望我們的國產(chǎn)掃描電鏡能夠?yàn)槲覀冎袊找媾畈难邪l(fā)工作做出微薄之力。